Thermo StificTM K-AlphaTM X射線光電子能譜儀擁有高 性能的微聚焦單色化X射線源,確保分析區(qū)域和感興趣 的待分析特征區(qū)域緊密匹配。高效的電子透鏡系統(tǒng)、半 球分析器和多通道檢測器實(shí)現(xiàn)了無可比擬的高信噪 比、一流的檢測能力和快速的數(shù)據(jù)采集。
Al Kα X射線 單色器可用于化學(xué)態(tài)高分辨分析
微聚焦X射線探針可用于絕緣材料的分析
先進(jìn)的光學(xué)觀察系統(tǒng)可用于對中樣品上微小結(jié)構(gòu)和污染點(diǎn)分析位置
聚焦深度剖析離子源可用于單層和多層膜分析
一鍵式中和系統(tǒng)可用于精確的小面積分析
128通道探測器用于快速并行快照式采集數(shù)據(jù)
用戶用K-Alpha X射線單色器可選擇30 μm至400 μm大小的分析區(qū)域,步長 5 μm。將分析區(qū)域調(diào)到感興趣的特征區(qū)域,使得信號最強(qiáng)。高效電子光學(xué)透鏡、半球形能量分析器和探測器使得儀器具有高靈敏探測能力,能快速獲得數(shù)據(jù)。
K-Alpha 能得到表面化學(xué)態(tài)像。用于分析樣品上的微小特征,能得到整個樣品臺大小的大樣品圖像。獨(dú)特的光學(xué)觀察系統(tǒng)可將XPS像與儲存的光學(xué)圖像重疊在一起,這一強(qiáng)大功能可用于識別和定量分析表面化學(xué)組分的分布。
K-Alpha用標(biāo)準(zhǔn)離子源或MAGCIS(可選雙模單原子和氣體團(tuán)簇離子源)深入表面層以下進(jìn)行分析。自動優(yōu)化源和自動供氣確保優(yōu)良的性能和實(shí)驗(yàn)重復(fù)性
K-Alpha具有卓越的性能和先進(jìn)的功能 ,可滿足科研和常規(guī)測量對XPS需求。直觀的操作(由Avantage數(shù)據(jù)系統(tǒng)導(dǎo)航)使得K-Alpha適合于 多用戶、設(shè)備共享用戶和著重高效操作和大量分析的XPS專家。
三個攝像頭方便了樣品導(dǎo)航和精確定位。獨(dú)特設(shè)計(jì)的光學(xué)成像系統(tǒng)操作預(yù)存有用戶的使用經(jīng)驗(yàn),減少了學(xué)習(xí)的彎路,大大提高了測試效率。
k-Alpha的分析室內(nèi)安裝標(biāo)準(zhǔn)樣品,用于必要的校準(zhǔn)。只需按下一鍵,K-Alpha可在數(shù)分鐘內(nèi)完成自校準(zhǔn)。確保用戶數(shù)據(jù)非??尚?。
K-Alpha系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
分析器 | 樣品處理 |
? 180°雙聚焦半球分析器 | ? 四軸樣品臺 |
? 高效電子傳輸透鏡系統(tǒng) | ? 最大分析面積為60 x 60 mm |
? 128通道檢測器 | ? 最大樣品厚度為20 mm |
X射線源 | 真空系統(tǒng) |
? Al Kα微聚焦單色源 | ? 2套抽速260 l/s渦輪分子泵 |
? 束斑連續(xù)可調(diào)(50-400 um,步長為5um) | ? 自動開啟,三燈絲Ti升華泵 |
? 低功率下實(shí)現(xiàn)高性能數(shù)據(jù)采集(72W) | 操作軟件 |
電荷補(bǔ)償 | ? Avantage軟件可用于離線數(shù)據(jù)處理 |
? 雙束中和源 | 可選組件 |
? 極低能量同軸電子和Ar+離子 | ? 轉(zhuǎn)角樣品臺用于角分辨XPS |
? 真空轉(zhuǎn)遞樣品臺用于傳遞空氣敏感樣品 | |
EX06離子槍 | ? 偏壓樣品臺用于測量材料功函數(shù) |
? 能量范圍從200 eV至4 keV | ? 進(jìn)樣室接口可以連接手套箱 |