AMETEK程控電源事業(yè)部深耕半導(dǎo)體行業(yè)多年，為眾多半導(dǎo)體客戶提供多種產(chǎn)品和解決方案，例如半導(dǎo)體設(shè)備供電應(yīng)用，電子器件的性能測(cè)試和老化測(cè)試應(yīng)用，激光器件測(cè)試和激光器供電應(yīng)用等。在半導(dǎo)體設(shè)備供電應(yīng)用中，AMETEK程控電源有很多典型的案例。
金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積(MOCVD）是生產(chǎn)LED 晶圓的主要方法之一。MOCVD設(shè)備是LED晶圓生產(chǎn)的重要設(shè)備。一套MOCVD設(shè)備中需要配備若干臺(tái)高功率電源設(shè)備為系統(tǒng)供應(yīng)能量，且不同的系統(tǒng)部件需求不同功率等級(jí)電源設(shè)備。其制程長，要求供電設(shè)備穩(wěn)定可靠；實(shí)驗(yàn)室空間有限，要求設(shè)備功率密度要高；可使用水冷或風(fēng)冷設(shè)備。國際知名MOCVD廠家選購AMETEK SG系列/ASD FLX系列產(chǎn)品應(yīng)用于MOCVD設(shè)備中，每年達(dá)數(shù)百臺(tái)。
AMETEK SG系列/ASD FLX系列產(chǎn)品應(yīng)用于MOCVD設(shè)備中
離子注入機(jī)是集成電路制造前道工序中的關(guān)鍵設(shè)備之一，離子注入是對(duì)半導(dǎo)體表面附近區(qū)域進(jìn)行摻雜的技術(shù)，其目的是改變半導(dǎo)體的載流子濃度和導(dǎo)電類型。客戶需求使用大功率高功率密度的直流電源設(shè)備為離子注入機(jī)提供電能激勵(lì)，其要求供電設(shè)備穩(wěn)定可靠，故障率低。某國內(nèi)知名離子注入機(jī)公司近年選購AMETEK SG15kW、SG20kW電源近百臺(tái)。
AMETEK SG系列產(chǎn)品應(yīng)用于離子注入機(jī)設(shè)備中
固態(tài)照明/高亮度LED/溫濕度箱中的應(yīng)用
在眾多的半導(dǎo)體設(shè)備中均會(huì)選購AMETEK程控電源產(chǎn)品，如固態(tài)照明設(shè)備/高亮度LED/溫濕度箱，皆因AMETEK程控電源產(chǎn)品穩(wěn)定可靠，體積小巧，性價(jià)比高。
AMETEK提供多種系列直流電源，滿足多種供電需求
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